雅马拓 洁净厌氧高温气氛炉 DTN430C/630C/450C/650C

• 商品名称：雅马拓 洁净厌氧高温气氛炉 DTN430C/630C/450C/650C
• 商品编号：YQC002143
• 品牌：YAMATO雅马拓
• 上架时间：2021-06-21
• 商品毛重：0克

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洁净厌氧高温气氛炉

DTN430C/630C/450C/650C

洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉，主要应用于固化半导体晶圆等。

特点

• 最高工作温度360℃和500℃。
• 采用耐热高性能高效过滤器，可在洁净的环境下进行高温烘烤。
• 高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2 消耗量极低。
• 磁密封保持高气密性，采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。
• 可实现快速升温和降温，升降温速率可调节。
• 标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收。

安全性

• 门检测开关
• 温度过升防止器
• 氧浓度异常安全装置
• 氮气压力检测
• 氮气流量检测
• 冷却水流量检测
• 漏水传感器
• 过电流漏电漏电保护开关

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