- 商品名称：PR500/510等离子灰化机|PR500/510等离子清洗机
- 商品编号：YQC001171
- 品牌：YAMATO雅马拓
- 上架时间：2021-06-23
- 商品毛重：0克
如果您发现商品信息不准确，欢迎纠错；高频输出 50~500W 反应腔 Φ215×305mm
低温等离子
PR500：手动控制
PR510：自动触摸屏控制
低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。
用途
●去除光刻胶
● 部品清洗
● 界面活性处理
● 微研磨
● 硅晶圆，玻璃基板对应
特征● 大口径（Φ215mm）石英反应腔
● 小型一体化设计
● 操作简单的触摸屏方式（PR510型）
内槽
硅晶圆灰化状态
规格
型号
PR500
PR510
模式
DP模式，桶型
控 制 部
高频输出功率
Max500W
频率
13.56MHz
同调方式
自动协调
反 应 部
反应腔
石英 Φ215×305mm
反应气体
2系统（O 2 ／CF 4 ）
控制
手动
触摸屏自动控制
配管材质
不锈钢、特氟龙
外形尺寸
W438×D520×H760mm
参照规格书
重量
约60kg
参照规格书
电源
单相AC100V 9A
三相AC200V 8A
- 暂无资料
