- 商品名称：PDC200/210/510等离子清洗机
- 商品编号：YQC001172
- 品牌：YAMATO雅马拓
- 上架时间：2019-08-01
- 商品毛重：0克
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高频输出 300W（PDC200型）/500W（PDC210/510型）
电极尺寸 250×170mm（PDC200/210型）/410×170mm（PDC510型）
使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应多种用途。
用途
● CSP、BGA、COB基板的等离子清洗
● 去除有机膜和金属氧化膜
● 印刷电路基板的干式清洗
● 界面活性处理
● LED封装
特征
● DP模式（PDC510标配·PDC200/210选配）
● RIE模式
● 均匀性高的电极构造
● 操作简单的触摸屏控制器
内槽
构成图
DP模式
PDC510标配）
PDC200/210选配）
RIE模式
规格
型号
PDC200
PDC210
PDC510
等离子模式
RIE（DP模式选配）
电极构造
平行平板（固定）
高频输出
Max300W
Max500W
频率
13.56MHz
控制·显示
液晶触摸屏
反应室尺寸
W400×D250×H150mm
W500×D300×H200mm
电极尺寸
W250×D170mm
W400×D200mm
反应室材质
铝
反应气体
2系统（Ar、O 2 ）
填充气体
N 2 或干燥空气
反应气体流量控制
流量计
聚合控制器
真空泵
另行选配
油泵（约345L/分）标配
油泵（约500L/分）标配
气体导入口
反应气体2个、填充气体1个
外形尺寸
W540×D600×H600mm
W540×D600×H600mm
W700×D700×H1285mm
重量
约100kg
约105kg
约180kg
电源
单相 AC100V 10A
三相AC200V 6A
三相AC200V 8A
- 暂无资料
