- 商品名称：雅马拓等离子清洗机V1000/V1000X/V1000XS
- 商品编号：YQC001184
- 品牌：YAMATO雅马拓
- 上架时间：2019-08-01
- 商品毛重：0克
如果您发现商品信息不准确，欢迎纠错；高频输出 100~1,000W（V1000）/100~1,000W&1,500W（V1000X/1000XS）
电极尺寸 280×280mm（V1000） 300×300mm（V1000X） 400×375mm（V1000XS）
使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应多种用途。
特征
● 可变更电极构造提高等离子效果。
● 搭载高精度适配器，高性能RF 电源。
● 可根据需求规格提供定制。
用途
● 硅晶圆的灰化及蚀刻
● 基板表面污垢处理
● IC/LED封装、BGA/CSP基板处理
● 半导体相关部品的电子材料的干式清洗
● 自然氧化膜·有机物去除
● 界面活性处理
● 表面污染物去除
内槽
规格
型号
V1000
V1000X
V1000XS
等离子模式
DP/RIE
高频电源
13.56MHz
输出功率
Max1000W
Max1000 & 1500W
有效电极尺寸
W280×D280mm
W300×D300mm
W400×D375mm
电极
平行平板
2段电极（独立）
平板（多目的）
反应气体
聚合控制器2系统（填充气路另行安装）
真空泵（标配）
约1000L/min
约1500L/min
1000 & 1500L/min
安全装置
门检测开关、联锁机构、紧急停止开关、温度过升防止器等
管路连接图
- 暂无资料
