- 商品名称：等离子清洗机YSP600U/2KU
- 商品编号：YQC001912
- 品牌：YAMATO雅马拓
- 上架时间：2019-08-01
- 商品毛重：0克
如果您发现商品信息不准确，欢迎纠错；样品传输系统为模块式，便于组合。特点
- 体积小，节省空间。
- 选用小型腔体，反应效率高。
- 更容易嵌入生产线使用。
- 可通过操作面板自由切换等离子模式。
- 配备冷却反应台。
技术参数
型号
YSP600U
YSP2KU
模式
RIE（DP模式选购）
高频输功率
600W
2000W
反应台尺寸
W300×D300mm
W600×D600mm
反应气体
2进气系统（氧气、氩气）
反应气体流量控制
质量流量控制器
气体导入口
反应气体2个、填充气体1个、空气1个
- 暂无资料
