- 商品名称：雅马拓等离子清洗机 YSP63FA
- 商品编号：YQC001913
- 品牌：YAMATO雅马拓
- 上架时间：2019-08-01
- 商品毛重：0克
如果您发现商品信息不准确，欢迎纠错；可进行样品传输系统定制。特点
- 操作快捷方便：放入样品收纳盒、自动处理、取出收纳盒。
- 软性基板也可以进行传送操作。
- 传送速度可在Hi-Low间调节。
- 可通过网络进行远程操作（选购品）。
型号
YSP63FA
模式
RIE（DP模式选购）
高频输功率
600W
反应台尺寸
W385×D362mm
内腔尺寸
W395×D378×H45mm（内尺寸）
反应气体
2进气系统（氧气、氩气）
反应气体流量控制
质量流量控制器
真空泵
旋转式真空泵（约500L/min）
气体导入口
反应气体2个、填充气体1个、空气1个
外形尺寸
W1860×D1100×H1800mm
