- 商品名称：pipi小型等离子装置_PIPI小型等离子清洗机
- 商品编号：YQC001186
- 品牌：YAMATO雅马拓
- 上架时间：2019-06-03
- 商品毛重：0克
如果您发现商品信息不准确，欢迎纠错；高频输出：200W 反应腔：W130×D130mm
等离子
等离子为气体发生电离状态，形成带有正电的离子及带有负电的电子状态。等离子为带有高能量、反应性非常高的状态，其容易与物质表面进行反应的特性被广泛使用。
等离子RIE（Reactive Ion Etching 方式）
RIE是去除物体表面的有机物污垢，同时去除无机物的最较合适的清洗方式。
RIE方式为加速离子层中的阳离子，冲击污染表面的物理性清洗方式。
特点
● 经济型等离子清洗机
● 简单的等离子处理操作
● 等离子模式为RIE模式
用途
● 去除有机物
● 树脂/膜等表面改质
● 改善粘接效果
● 提高亲水性
● 去除金属氧化物
● 蚀刻
内槽
外形图
规格
型号
PM100
等离子方式
RIE模式
电极构造
平行平板式
高频输出
Max200W
频率
13.56MHz
电极尺寸
W130×D130mm
外形尺寸
W438×D520×H565mm
反应气体
Ar
填充气体
N 2 或干燥空气
反应气体流量计
流量计
控制方式
程序控制
电源
单相100V
真空泵（选配）
油泵 135L/min（50Hz）
- 暂无资料
